【ナノ3D光干渉計測システム】

本システムは、光干渉現象を利用した形状計測システムで、高精度(高さ分解能0.1nm)な形状評価が広い視野(最大2mm□)で可能です。微細パターニングされたレジスト等の全体形状や立体物の層構造解析などに利用できます。

日立ハイテクノロジーズ社製VS1800

主な装置仕様

有機EL分野活用例(1)–バンク形状観察–

• 感光性ポリイミドなどで作製した絶縁バンクの洗浄処理前後における表面形状変化観察
• 3次元像解析を利用したピンホール、クラック等の評価

有機EL分野活用例(2)–フィルム基板表面観察–

OLED作製においては、基板平滑性が極めて重要です。本システムを利用した高視野での表面平坦性評価によりフィルム基板等のOLEDへの適用可否が迅速に判断できます。

平坦化後のJV特性