i³-opera

技術紹介

i³-operaの研究実績の中から、公開可能な事例を紹介しています

暴露室を用いたキラー不純物の評価法

OLED素子製作技術

トップエミッション素子製作

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デバイス再現性

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チャンバー内不純物とデバイス寿命

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