【白色干渉顕微鏡(ナノ3D光干渉計測システム)】

本システムは、光干渉現象を利用した非接触の3次元形状計測システムです。
広い視野(最大2mm角)でありながら、ナノメートルオーダー(高さ分解能0.1nm)の高精度な形状評価を一挙に実現します。また、電動ステージを用いて複数箇所を自動撮影・繋ぎ合わせることで、最大 25cmサイズまでの広範囲な画像解析・マクロ評価が可能です。
微細パターニングされたレジスト等の全体形状観察や、立体物のレイヤー(層構造)解析など、研究開発から品質管理まで幅広くご利用いただけます。

日立ハイテクノロジーズ社製VS1800

主な装置仕様

活用例(1)–フィルム基板表面観察–

OLED作製においては、基板の表面平滑性が極めて重要です。
観察視野が5µm角程度と狭い原子間力顕微鏡(AFM)では、フィルム基板に点在する数十µm間隔のまばらな凹凸などを見落とすリスクがあります。白色干渉顕微鏡は、広範囲を一度に高精度で表面観察できるため、広視野での平坦性評価が可能です。

活用例(2)-デバイスの表面・成膜範囲観察-

デバイス製作後に、25mm角の基板全体を網羅的に観察・解析することができます。 ITOやポリイミドバンク、有機膜、金属膜、封止膜などの成膜範囲(パターン形状)や各層の膜厚分布を一括で評価可能です。さらに、原子間力顕微鏡(AFM)によるナノスケールの微細構造観察と組み合わせることで、マクロからミクロまでシームレスかつ詳細な表面解析を実現します。

活用例(3)-フレネルレンズの表面観察-