塗分けマスクを使った条件振り

2026.06.18 OLED素子製作技術

同一バッチで4条件振りが可能です。そのため、初期特性の比較に加えて、バッチ間でばらつきやすい寿命についてもプロセス要因(デバイス製作時間やチャンバー雰囲気など)を極力排除し、相対的に比較できます。